PECVD Wafer Load/Unload System
Anti Reflection Coating 위해 PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) 장비 설비에 웨이퍼를 공급해주는 물류장비이다.
웨이퍼를 cassette magazine으로부터 빼내어 multiple configuration tray 상에 자동으로 Wafer를 탑재하고 PECVD 장비로 tray를 이송해 준 후 ARC 작업이 끝난 tray로부터 웨이퍼를 unloading하여 다시 cassette magazine에 넣어주는 Inline 장비이다.
웨이퍼를 cassette magazine으로부터 빼내어 multiple configuration tray 상에 자동으로 Wafer를 탑재하고 PECVD 장비로 tray를 이송해 준 후 ARC 작업이 끝난 tray로부터 웨이퍼를 unloading하여 다시 cassette magazine에 넣어주는 Inline 장비이다.
