Wafer Load/Unload System for TUBE PECVD
Anti Reflection Coating 위해 PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) 장비 설비에 웨이퍼를 공급해주는 물류장비이다.
웨이퍼를 cassette magazine으로부터 빼내어 Special Graphite boat 상에 Artificial Robot 을 이용하여 Wafer를 탑재하고 PECVD 장비로 boat를 이송해 준 후 ARC 작업이 끝난 boat로부터 웨이퍼를 unloading하여 다시 cassette magazine에 넣어주는 Inline 장비이다
웨이퍼를 cassette magazine으로부터 빼내어 Special Graphite boat 상에 Artificial Robot 을 이용하여 Wafer를 탑재하고 PECVD 장비로 boat를 이송해 준 후 ARC 작업이 끝난 boat로부터 웨이퍼를 unloading하여 다시 cassette magazine에 넣어주는 Inline 장비이다
