Diffusion Wafer Transfer System
웨이퍼에 Phosphor (인광물질)을 doping 하기 위한 diffusion 작업에 사용되는 웨이퍼 핸들링 장비이다.
50 또는 100장의 Wafer를 Cassette Magazine에서 pick up하여 Diffusion 용 Quartz boat에 Back to back 또는 단일 wafer로 Loading하고 Diffusion이 끝난 Wafer는 Quartz boat에서 빼서 Cassette Magazine으로 다시 공급하여 다음 공정으로 이송한다. Stand alone 또는 Inline 타입의 장비가 있으며 세계 최고의 생산성을 보유하고 있다.
50 또는 100장의 Wafer를 Cassette Magazine에서 pick up하여 Diffusion 용 Quartz boat에 Back to back 또는 단일 wafer로 Loading하고 Diffusion이 끝난 Wafer는 Quartz boat에서 빼서 Cassette Magazine으로 다시 공급하여 다음 공정으로 이송한다. Stand alone 또는 Inline 타입의 장비가 있으며 세계 최고의 생산성을 보유하고 있다.
