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Wafer Inspection System
Solar 웨이퍼 제조공정에 사용될 경우에는 제조공정의 마지막에 해당되는 완제품 웨이퍼 검사 및 분류 공정에 사용되며, 태양 전지 제조공정에 사용될 경우에는 제조공정의 가장 처음에 해당되는 웨이퍼 입수검사 공정에 사용되게 된다.
Stack magazine 혹은 cassette magazine를 통해 장비 내에 웨이퍼를 공급하고 업계 최고의 생산성으로 웨이퍼의 특성 검사를(geometry / contamination / micro crack / saw mark / thickness / resistivity) 실행한 후 그 결과값에 따라 여러 개의 bin에 웨이퍼를 공급해 준다.
Active Alignment System
정밀하게 다축을 제어해서 Camera module을 조립하는 차세대 장비이며 포틱스의 특화된 제어 시스템 및 알고리즘을 통해 신뢰성을 더욱 높였다. 자동으로 CIS를 포함한 PCB 및 Lens 를 Loading해서 Laser sensor 및 Vision으로 CIS의 평탄도와 PCB 위치를 동시에 확인하고 에폭시를 도포한 후에 하부 6축, 상부 5축으로 이루어진 초정밀 Robot을 이용하여 Lens를 조립하고 UV로 가경화 한 후 Tray로 Unloading 한다.
포틱스의 Active Alignment 장비는 최상의 Lens와 Image sensor간의 위치를 보증하고 또한 높은 생산성과 안정성을 보장한다.
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