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태양전지

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Wafer load/unload system for ALD and PERC process

제품이미지
Fortix에서 신규 Process인 ALD (Atomic Layer Deposition) and PERC (Passivated Emitter Rear Contact) process용으로 개발한 Inline wafer load/unload 장비임.
ALD 또는 PERC process를 거쳐 공급되는 Carrier 상의 Wafer를 고속 Picker를 이용하여 빠른 속돌로 Wafer를 Cassette magazine으로 Unloading 하고 새로운 Wafer를 Carrier 상에 공급 후 ALD 또는 PERC 장비로 공급하는 장비임
Carrier가 연속적으로 움직이면서 Wafer를 공급하는 장비라 빠른 속도 뿐만 아니라 정밀한 위치제어가 필요함


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