Load/Unload System for ALD system
Fortix에서 신규 Process인 ALD (Atomic Layer Deposition) and PERC (Passivated Emitter Rear Contact) process용으로 개발한 Inline wafer load/unload 장비임.
ALD 또는 PERC process를 거쳐 공급되는 Carrier 상의 Wafer를 고속 Picker를 이용하여 빠른 속돌로 Wafer를 Cassette magazine으로 Unloading 하고 새로운 Wafer를 Carrier 상에 공급 후 ALD 또는 PERC 장비로 공급하는 장비임 Carrier가 연속적으로 움직이면서 Wafer를 공급하는 장비라 빠른 속도 뿐만 아니라 정밀한 위치제어가 필요함
ALD 또는 PERC process를 거쳐 공급되는 Carrier 상의 Wafer를 고속 Picker를 이용하여 빠른 속돌로 Wafer를 Cassette magazine으로 Unloading 하고 새로운 Wafer를 Carrier 상에 공급 후 ALD 또는 PERC 장비로 공급하는 장비임 Carrier가 연속적으로 움직이면서 Wafer를 공급하는 장비라 빠른 속도 뿐만 아니라 정밀한 위치제어가 필요함
