Wafer Load/Unload System for Wet Process
Saw damage 및 Texture Etch를 하기 위한 inline type process 설비에 웨이퍼를 공급하기 위해 웨이퍼를 이송해주는 물류 장비이다.
Stack magazine으로부터 웨이퍼를 빼어내어 conveyor belt 상으로 Texture Etch 장비에 웨이퍼를 자동으로 공급하며, Texture Etch 작업이 끝난 뒤 웨이퍼를 자동으로 Cassette Magazine으로 적재하는 자동 물류 장비이다.
Stack magazine으로부터 웨이퍼를 빼어내어 conveyor belt 상으로 Texture Etch 장비에 웨이퍼를 자동으로 공급하며, Texture Etch 작업이 끝난 뒤 웨이퍼를 자동으로 Cassette Magazine으로 적재하는 자동 물류 장비이다.
