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Wafer Inspection System
在Solar硅片制造工艺情况下 使用与成品制作后的 最后检测 分选来使用
在太阳能电池制造工艺中 是第一工序 检测来料检测来使用 .

通过 Stack magazine 或者 cassette magazine 设备内提供 硅片 行业最高生产性 来检测硅片 特性检测(geometry / contamination / micro crack / saw mark / thickness / resistivity)检测好后 对 检测结果来判定 分选 硅片种类供应.
Active Alignment System
Active Alignment System

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