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PSG Removal Wafer Load/Unload System
PSG Removal Wafer Load/Unload System
P-N 접합분리를 위한 phosphorous glass 층의 제거작업 (Removal of phosphorous glass) 위해 웨이퍼를 wet etch 장비로 공급하여 주고, 작업이 끝난 웨이퍼를 다시 carrier cassette로 넣어주는 장비이다.
Stack magazine으로부터 웨이퍼를 빼어내어 conveyor belt 상으로 Texture Etch 장비에 웨이퍼를 자동으로 공급하며, Texture Etch 작업이 끝난 뒤 웨이퍼를 자동으로 quartz boat에 적재하는 자동 물류 장비이다.