HOME LOGIN MYPAGE SITEMAP
logo
홈 > 제품소개>  PECVD Wafer Load/Unload System
PECVD Wafer Load/Unload System
PECVD Wafer Load/Unload System
Anti Reflection Coating 위해 PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) 장비 설비에 웨이퍼를 공급해주는 물류장비이다.
웨이퍼를 cassette magazine으로부터 빼어내어 multiple configuration tray에 자동으로 탑재하여 PECVD 장비로 tray를 이송해 준 후 ARC 작업이 끝난 tray로부터 웨이퍼를 unloading하여 다시 cassette magazine에 탑재하고 empty tray는 다시 loading 부위로 순환시키는 자동 물류 장치이다.