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Wafer Test & Inspection System
Wafer Test & Inspection System
쏠라 웨이퍼 제조공정에 사용될 경우에는 제조공정의 마지막에 해당되는완제품 웨이퍼 검사 및 분류 공정에 사용되며, 태양 전지 제조공정에 사용될 경우에는 제조공정의 가장 처음에 해당되는 웨이퍼 입수검사 공정에 사용되게 된다.
Stack magazine 혹은 cassette magazine를 통해 장비 내에 웨이퍼를 공급하고 업계 최고의 생산성으로 웨이퍼의 특성 검사를(geometry / contamination / micro crack / saw mark / thickness / resistivity) 실행한 후 그 결과값에 따라 여러 개의 bin에 웨이퍼를 공급해 준다.