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Laser Edge Isolation System
Laser Edge Isolation System
태양전지를 만드는 공정 중 하나는 Isolation 작업으로, 이는 실리콘 웨이퍼를 둘러싸고 있는 형광체를 N층(음극) 과 P층(양극)으로 분리함으로써 전기장을 형성시키는 작업이다.
레이저 빔을 이용하여 N층과 P층을 절연시켜 주는 설비로써 비전 시스템을 이용한 위치보정방식을 사용하여 높은 에너지효율 효과를 보장한다. 기존의 isolation 작업에 사용되던 플라즈마 방식과 비교했을 때 훨씬 적은 breakage rate (자재 손상율)을 보장하며 제조 공정이 inline화 될 수 있는 장점이 있다.